Soluciones de sensores altamente precisos para el sector de los semiconductores
Los equipos de producción en la industria de los semiconductores deben estar dotados de sensores de última generación para cumplir con los crecientes requisitos de calidad y eficiencia. Deben detectar con precisión los movimientos más leves, reconocer con confiabilidad el incumplimiento de los márgenes de tolerancia y supervisar procesos al límite de lo físicamente posible. Las tecnologías de sensores de Micro-Epsilon llevan muchos años demostrando su eficacia en el sector de los semiconductores y ofreciendo soluciones adecuadas para las más diversas tareas de medición, tanto en complejos procesos front-end como en aplicaciones back-end o en la fabricación automatizada de obleas.
¿Por qué Micro-Epsilon?
- Mayor precisión e innovación - Made in Germany
- Asesoramiento, desarrollo y producción del mismo proveedor
- En colaboración con nuestros clientes: Calidad y competencia en soluciones en serie y OEM
- Profundos conocimientos en tecnologías y aplicaciones para la fabricación de semiconductores
Sensores de precisión para el monitoreo y el control dinámicos de equipos
El empleo de sensores optimizados de Micro-Epsilon en la construcción de equipos de semiconductores, garantiza mediciones precisas. Se utilizan en aplicaciones con aceleraciones elevadas, campos magnéticos intensos y en vacíos ultra altos. Los sensores están sujetos a los más estrictos estándares de calidad y controlan, entre otros, la alineación de las fotomáscaras y de los sistemas de lentes, el posicionamiento de las obleas y la posición correcta de los espejos y elementos ópticos.
Nuestras soluciones de sensórica para el sector de los semiconductores
Le ofrecemos una vasta gama de sensores y dispositivos de medición precisos para los más diversos procesos de fabricación de semiconductores. Diseñamos y fabricamos soluciones de sensores y actuadores personalizadas para aplicaciones en serie. Disponemos de los métodos de fabricación y capacidades pertinentes para que los sensores puedan cumplir en entornos exigentes.
Procesos modernos para la fabricación de sensores de desplazamiento de alta precisión
Las rigurosas normas que rigen en la producción de semiconductores exigen que todos los sensores y sistemas Micro-Epsilon sean sometidos a procesos de fabricación y ensayo muy complejos. Esto incluye la selección y la instalación de los componentes electrónicos, la construcción mecánica y las tecnologías de procesos especiales. Para cumplir los estrictos criterios de calidad, se utilizan materiales específicos en función de la aplicación.
- Tecnología láser de pulsos ultracortos UKP
- Soldadura fuerte al vacío a altas temperaturas
- Fabricación precisa
- Pruebas Burn-In
- Equipos de encapsulado automatizados
- Pasivación y revestimiento de componentes y grupos de maniobra
Diseño personalizado de sensores en función de las especificaciones del cliente
- Baja desgasificación
- Compatibles con vacío
- Posibilidades de limpieza
- Tecnologías compatibles con voltaje ultra alto UHV
- tecnologías de conexión
- Etiquetado y envasado conforme a las especificaciones aplicables a semiconductores
- Altos estándares de garantía de calidad
Mayor precisión para semiconductores
Micro-Epsilon ofrece la solución adecuada para numerosas aplicaciones del sector de los semiconductores, desde el posicionamiento preciso de los equipos hasta la inspección de las obleas y la medición topográfica. Los sensores se utilizan tanto en procesos front-end como back-end e impresionan por su máxima precisión y confiabilidad.
Consulte aquí ejemplos de aplicación en el sector de los semiconductores
