Interferómetro de luz blanca altamente preciso para la medición absoluta de distancia y grosores
Los novedosos interferómetros de luz blanca de Micro-Epsilon son un referente en la medición de alta precisión de distancias y grosores. Los interferómetros absolutos garantizan resultados de medición estables con resolución subnanométrica y ofrecen un rango de medición y una distancia de separación relativamente grandes. Los interferómetros se utilizan para la medición absoluta de distancia y para la medición del grosor de objetos transparentes y obleas.
Compruébelo por sí mismo: máxima precisión de medición para aplicaciones en el sector industrial y en la construcción de maquinaria para semiconductores.
Modelos
Ventajas destacadas del innovador interferómetro de luz blanca
- Medición absoluta de distancia con precisión nanométrica
- Medición precisa del grosor de materiales, independientemente de la distancia hasta el sensor
- Medición de distancia multipico y medición de grosores multicapa
- Precisión inigualable en aplicaciones industriales
- El mejor de su clase: resolución < 30 picómetros (IMS5600)
- Gran estabilidad de señal gracias a los nuevos algoritmos de evaluación y a la compensación activa de la temperatura
- Mayor distancia de separación
- Fácil configuración de parámetros mediante interfaz web
- Sensores industriales optimizados con carcasa metálica robusta y cables flexibles
- Sensores y cables compatibles con vacío
- Fácil integración industrial para una rápida adaptación de campo en el lugar de aplicación
Innovadores interferómetros de luz blanca para el sector industrial y la automatización
El interferómetro de luz blanca de calidad industrial está compuesto por un sensor robusto, un cable sensor muy flexible y un controlador en carcasa de aluminio acoplable a un riel de perfil. El controlador dispone de un control activo de la temperatura que compensa los cambios de la temperatura ambiente, logrando así una enorme estabilidad térmica. Por su construcción compacta, el interferómetro es apto para integración en entornos industriales. Los cables de hasta 10 metros de largo permiten también separar físicamente el controlador del sensor. Para tareas de medición en salas limpias y en vacío, disponemos de sensores, cables y prensaestopas compatibles con vacío.

Máxima resolución Z y pequeño punto de luz para medir detalles y estructuras minúsculas.
En dirección Z, los sensores alcanzan una resolución inferior al nanómetro. También generan un pequeño punto luminoso de solo 10 µm sobre todo el campo de medición. Esta alta resolución permite captar pequeños detalles, como por ejemplo la estructura de los semiconductores y componentes electrónicos miniaturizados. El punto de luz se visualiza mediante un láser piloto y simplifica la alineación del sensor.
Nuevos modelos de sensor en diferentes diseños
Para la integración de los interferómetros en entornos complejos se han desarrollado nuevos sensores de diseño y propiedades diferentes. Por su trayectoria de haz de 90°, tanto el IMP-DS0.5/90/VAC como el IMP-DS10/90/VAC son aptos para instalación en espacios planos. El nuevo sensor miniatura IMP-DS1/VAC pertenece a la familia de sensores ópticos más pequeños de Micro-Epsilon. Su diámetro de 4 mm y el cable integrado permiten utilizarlo en espacios muy reducidos. Los sensores y cables son compatibles con salas limpias y con vacío.
Láser piloto patentado para fácil posicionamiento del sensor
Los interferómetros de luz blanca funcionan con luz infrarroja en la parte no visible (aprox. 840 nm de longitud de onda), es decir, no permiten reconocer la posición de medición. Los sistemas Micro-Epsilon están dotados de un láser piloto que proyecta un punto de luz sobre la posición de medición para visualizarla. El láser piloto se sirve además de un proceso patentado para informar tanto de la distancia como de la posición de medición. Cuando el objeto de medición se halla a la distancia correcta del objeto y por lo tanto dentro del campo de medición, el láser piloto emite una luz constante. Si el objeto de medición está fuera del rango de medición, el láser piloto parpadea.
Fácil integración en el lugar de aplicación
- La posibilidad de intercambiar componentes posibilita una integración flexible
- Servicio más rápido y eficaz en el lugar de aplicación
- Posibilidad de que el personal de servicio de Micro-Epsilon sustituya la fuente de luz en la línea de producción
- Sustitución de sensores del mismo tipo (para IMS5400): sin necesidad de desmontar los sensores ni hacerlos recalibrar en fábrica
- El propio cliente puede variar la longitud y sustituir cables del mismo tipo por sí mismo: no necesita enviar el sistema.
Adaptador de montaje regulable para alinear el sensor
La máxima precisión se logra alineando los interferómetros lo más ortogonalmente posible respecto al objeto de medición. Con el adaptador de montaje regulable, se consigue una alineación óptima de los sensores respecto al objeto de medición. También es posible realizar la alineación una vez realizado el montaje de la máquina. El adaptador industrial facilita el desplazamiento del sensor en las direcciones X e Y y su inclinación con respecto al objeto de medición.
Nuevo: Adaptador de montaje regulable para medir el grosor por ambos lados
El JMA-Thickness está compuesto por dos adaptadores de montaje regulables y facilita la alineación de los sensores en mediciones de grosor por ambos lados. Esto significa que los puntos de medición se pueden disponer de forma absolutamente congruente en un eje óptico. Con esta configuración se asegura una medición confiable del grosor con la mayor precisión posible. El JMA-Thickness es ideal para integración en equipos y sistemas de producción. Las placas de montaje preinstaladas facilitan y agilizan la instalación.
Fácil operación mediante interfaz web
La configuración completa de los controladores y de los sensores se realiza sin necesidad de software adicional mediante una interfaz web de fácil uso. A la interfaz web se accede a través de una conexión Ethernet que permite una configuración rápida y sencilla de ajustes como promedios, la velocidad de medición o los preajustes,
Interfaces y unidades de cálculo
Interfaces modernas para integración en máquinas y sistemas
El controlador incorpora interfaces como Ethernet, EtherCAT y RS422, así como conexiones adicionales para codificadores, salidas analógicas, entradas de sincronización y E/S digitales. El uso de los módulos de interfaz Micro-Epsilon pone a disposición PROFINET y Ethernet/IP. Esto significa que el interferómetro admite integración en cualquier sistema de control o programa de producción.





