Inspección y medición de alta precisión de superficies altamente reflectantes
Los sensores reflectCONTROL capturan e inspeccionan con alta precisión superficies altamente reflectantes y parcialmente transparentes. Según el modelo, permiten inspecciones 2D de alta resolución para detectar defectos o mediciones 3D de toda la superficie para una inspección precisa de la forma y la geometría. La deflectometría de medición de fase permite visualizar de manera fiable incluso los defectos y las desviaciones de forma más pequeños.
Las aplicaciones abarcan desde la inspección industrial de superficies hasta la medición automatizada de obleas de hasta 300 mm de diámetro. De esta forma, las tareas de inspección exigentes pueden integrarse en el proceso de producción de manera eficiente, reproducible y sin contacto.
Inspección precisa de superficies en 2D y 3D para tareas industriales exigentes de medición e inspección.
Características
- Inspección 2D y 3D sin contacto de superficies altamente reflectantes
- Detección de defectos de alta resolución y medición precisa de la forma
- Captura 3D de toda la superficie de componentes y obleas de hasta 300 mm
- Tiempos de medición cortos para un control de calidad eficiente
- Alta precisión de medición para inspecciones de superficies exigentes
- Integración flexible en procesos automatizados de inspección y producción
- Potente software 3DInspect
Medición 2D y 3D sin contacto mediante deflectometría
El objeto de medición se ilumina sin contacto con patrones de franjas definidos. La superficie altamente reflectante refleja estos patrones hacia dos cámaras que detectan incluso las variaciones y deformaciones más pequeñas de las franjas.
A partir de las secuencias de imágenes capturadas, el sensor genera imágenes de fase 2D de alta resolución. Estas permiten detectar y evaluar de forma fiable los defectos de la superficie. En los modelos reflectCONTROL compatibles con mediciones 3D, la información de fase también se utiliza para calcular una nube de puntos tridimensional, es decir, la topografía de la superficie.
Según el modelo del sensor, los datos de medición pueden procesarse posteriormente para la detección automatizada de defectos, la inspección de superficies y la medición de la forma en 3D.
NUEVO: reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage
Sensor para la medición de warpage y planitud en 3D de obleas, con un rango de medición de 300 mm
Captura de toda la superficie de la oblea en una sola toma, sin errores de stitching y optimizada para superficies reflectantes de obleas. Para mediciones rápidas y precisas de warpage y planitud en 3D, prevención fiable de colisiones en el proceso posterior y uso en procesos de inspección nearline e inline.
Inspección precisa de superficies con sensores de deflectometría
Los sensores de deflectometría de Micro-Epsilon se utilizan para la inspección de alta precisión de superficies especulares y reflectantes. Detectan sin contacto y con alta resolución las desviaciones de forma, ondulaciones y defectos locales de superficie más pequeños. Entre sus aplicaciones habituales se encuentran la industria de semiconductores, los componentes ópticos, las superficies de vidrio, las pantallas y las piezas pintadas o pulidas.
Los sensores permiten tanto el control de calidad de componentes individuales como la inspección automatizada inline durante la producción. Esto permite detectar los defectos de manera temprana, reducir los rechazos y los retrabajos y garantizar una calidad de producto constantemente alta.
3DInspect: potente software para la parametrización y evaluación
Interfaz de usuario intuitiva
La sencilla parametrización y la cómoda creación de programas de medición 3D permiten configurar rápida y eficazmente los procesos de medición.
Funcionamiento inline
La interfaz de automatización integrada almacena programas de medición y permite realizar mediciones automatizadas sin dispositivos de control adicionales.
Registro y almacenamiento
de datos 3D directamente en el software
Un software para todos los sensores 3D de Micro-Epsilon
Parametrización
- Ajuste de los parámetros óptimos del sensor para la tarea de medición correspondiente
- Carga de conjuntos de parámetros
- Selección del área que se desea medir
Preprocesamiento de datos
- Ajuste de la nube de puntos antes de la evaluación, p. ej., para el posicionamiento reproducible de la nube de puntos.
- Refinar o aplicar filtros para resaltar características, eliminar puntos irrelevantes o crear secciones.
Evaluación
- Más de 80 programas de medición para el cálculo de los valores de medición deseados
- Evaluación y medición de secciones generadas previamente
- Combinación de varios programas para tareas de medición complejas
Salida de resultados de medición
- Evaluación directa de un valor de medición como resultado (valor OK/NOK) Salida automatizada de los valores de medición o de los resultados evaluados (requiere la licencia «Automatización»)
- Señales de conmutación y salida por bus de campo
