Sensor 3D para medir warpage y planitud en toda la superficie de obleas de hasta 300 mm de diámetro
Los sensores reflectCONTROL RCS3500-300 permiten realizar mediciones 3D rápidas de obleas de hasta 300 mm de diámetro. En una sola toma se captura toda la superficie de la oblea y se inspecciona con precisión para detectar warpage, bow y deformaciones locales. De esta manera se pueden detectar las desviaciones de forma temprana, antes de que afecten las etapas posteriores del proceso. El corto tiempo de medición permite un control de calidad eficiente con un rendimiento de producción constantemente alto, para una mayor seguridad del proceso, menos rechazos y menores costos posteriores.
Características
- Captura de toda la superficie de obleas de hasta 300 mm en una sola toma
- Sin errores de stitching por la unión de mediciones parciales
- Optimizado para superficies de obleas altamente reflectantes
- Tiempos de captura cortos, desde 1 s, para inspecciones de warpage y planitud
- Control de calidad eficiente con un rendimiento de producción constantemente alto
- Prevención de colisiones para proteger las etapas posteriores del proceso
- Adecuado para procesos de inspección inline
Deflectometría 3D de toda la superficie de obleas de gran tamaño
Con un diámetro del rango de medición de 300 mm a una distancia de trabajo de 370 mm, el sensor permite medir toda la superficie de obleas de hasta 300 mm de diámetro en una sola toma. Esto produce un conjunto de datos 3D coherente sin escaneo mecánico ni stitching de varias mediciones parciales.
Tiempos de medición cortos para una alta velocidad del proceso
Los sensores reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage capturan datos 3D precisos en muy poco tiempo. Los tiempos de captura cortos, desde 1 s, reducen el tiempo de inactividad de la oblea y favorecen secuencias de inspección rápidas en procesos automatizados.
Gracias al procesamiento rápido, los valores de medición calculados, las características o las evaluaciones OK/NOK están disponibles con rapidez. Así, las decisiones de calidad pueden transmitirse directamente al proceso de producción, lo que resulta ideal para inspecciones inline, tiempos de ciclo cortos y aplicaciones robotizadas. El warpage, el bow, la planitud y las deflexiones locales se evalúan de forma rápida y fiable.
Potente IPU con software 3DInspect
En combinación con la Industrial Performance Unit (IPU), se dispone de interfaces PROFINET, EtherCAT y EtherNet/IP para facilitar la integración en entornos de control industrial. Los archivos de descripción de dispositivos preparados y el modelo de control secuencial de Micro-Epsilon permiten una puesta en marcha rápida y fiable. El software 3DInspect para tareas de medición e inspección 3D ya está integrado en la IPU.
Campos de aplicación
