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confocalLINE


Nuevos estándares en metrología 3D - alta precisión y alta velocidad

Máxima resolución para la detección de los detalles más pequeños y las diferencias de altura

Evaluación SMART de perfiles & nubes de puntos 3D

Sensor de línea confocal para escaneos 3D de gran precisión y alta velocidad

Los nuevos sensores confocalLINE permiten escaneos de alta precisión con la máxima densidad de puntos y a alta velocidad. Registran las más diversas superficies de forma confiable y proporcionan datos 3D precisos para tareas de medición exigentes en la producción de semiconductores, la producción electrónica y la ingeniería mecánica de precisión. Gracias a la evaluación SMART integrada y a las modernas interfaces de bus de campo, las tareas de medición e inspección complejas pueden resolverse directamente en el sensor de forma rápida, estable y con alta precisión.

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Características

  1. Escaneos de alta precisión con 2624 puntos/perfil
  2. Muy alta estabilidad de señal en numerosas superficies
  3. Precisión micrométrica para la detección confiable de los detalles más pequeños
  4. Diseño de sensor compacto con evaluación de datos integrada
  5. Medición de perfil 2D & medición de geometría 3D
  6. Salida directa de los datos de medición a través de bus de campo y Modbus (UDP/TCP)
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Amplio rango de medición con la densidad de puntos más alta

Los escáneres de línea cromáticos confocales registran perfiles con una longitud de línea de 7 mm en el eje X. Con 2624 puntos de medición por perfil se generan datos de perfil 2D de alta resolución y nubes de puntos 3D precisas de forma confiable y en gran medida independientes de las características de la superficie. Gracias a la captura lineal, se pueden generar escaneos completos mucho más rápido que con sensores puntuales convencionales.

Máxima precisión hasta el último detalle

Con una resolución lateral de 2,7 µm y una resolución en Z de 200 nm, confocalLINE registra las estructuras y las diferencias de altura más sutiles con la máxima precisión. Gracias a la alta precisión, es posible detectar y evaluar de forma confiable incluso los objetos más pequeños - ideal para tareas de medición con los requisitos de precisión más altos.

El escáner más pequeño de su clase: Diseño compacto con evaluación SMART integrada

El confocalLINE CLI8500 establece nuevos estándares gracias a sus dimensiones compactas. Como el sensor no requiere ni un controlador externo ni un IPC, puede integrarse de forma sencilla y sin gabinete de control, incluso en espacios de instalación reducidos. En la versión SMART, los programas de medición se ejecutan directamente en el sensor y los resultados de medición se envían a la unidad de control.

Tecnología innovadora para mediciones de alta precisión

Los sensores confocalLINE utilizan el principio de medición cromático confocal, en el que la luz blanca se descompone en sus colores espectrales mediante una óptica especial y se proyecta en forma de línea sobre el objeto que se va a medir. Cada longitud de onda del espectro corresponde a una distancia definida. A partir de la luz reflejada, el sensor determina para cada punto de medición la distancia a la superficie. Los 2624 puntos de medición por línea producen un perfil de altura de alta resolución. Mediante la concatenación de los perfiles se generan nubes de puntos 3D. De este modo, las topografías de superficie, los bordes, los escalones y las hendiduras pueden capturarse con la máxima precisión y velocidad de medición y evaluarse directamente en el sensor. En materiales transparentes y semitransparentes, además, es posible detectar varias interfaces y, a partir de ellas, determinar, por ejemplo, los espesores del material.

Software muy eficaz para parametrización y soluciones de aplicación

El software 3DInspect facilita la parametrización y la creación de programas de medición en 2D y 3D. La intuitiva interfaz de usuario facilita la configuración rápida y eficaz de los procesos de medición. La interfaz de automatización integrada permite guardar los programas de medición creados directamente en el escáner y aplicarlos en modo SMART. De este modo, se obtienen mediciones automatizadas sin necesidad de otros dispositivos de control.

Fácil parametrización de los sensores

  • Alineación y filtrado de la nube de puntos
  • Detección intuitiva y selección de áreas relevantes
  • Valid3D: Nubes de puntos reales en 3D, en vez de evaluación 2.5D

Programas eficaces para operación autónoma en modo SMART

  • Más de 80 programas de medición para el cálculo de los valores de medición deseados
  • Combinación de diversos programas para tareas de medición complejas
  • Transferencia de los programas de medición al escáner para operación autónoma en modo SMART

Ver Software 3DInspect

Fácil integración gracias a numerosas interfaces

Campos de aplicación

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Catálogos y fichas técnicas