Medición de espesor de láminas eléctricamente conductoras
El sistema de medición capacitivo TFG6220 realiza la medición de espesor de láminas eléctricamente conductoras, p. ej., láminas para baterías, con máxima precisión. Un dispositivo de vacío sujeta el objeto de medición, lo alisa y de este modo garantiza una colocación óptima y sin pliegues. De esta manera, la medición puede realizarse con la máxima precisión posible. El sistema se utiliza para el control de calidad mediante muestreos fuera de línea. El TFG6220 se entrega premontado y listo para operar, y está disponible para un uso inmediato.
Características
- Inspección rápida fuera de línea de espesor de película
- Resolución: 10 nm
- Alta reproducibilidad: 1 µm
- Posible espesor de lámina: < 1 mm
- Resultados de alta precisión gracias al alisado automático de la película por vacío
- Un inserto de medición integrado permite una referenciación sencilla antes de la medición de espesor
- Operación/visualización sencillas mediante el software sensorTOOL de acceso libre
Calidad confiable gracias a una inspección precisa
El TFG6220 consta de un arco de medición con sensores incluidos y un controlador capaNCDT. El cálculo de espesor se realiza mediante el procesamiento matemático de las señales de ambos sensores capacitivos. El alisado automático del objeto de medición se realiza mediante una unidad de vacío conectada externamente. De este modo se obtienen resultados con precisión micrométrica.
El sensor capacitivo (1) montado de forma fija en la parte superior del arco de medición mide la distancia al objeto de medición (2). El inserto de medición (3) proporciona una superficie de referencia sobre la cual el objeto de medición se succiona mediante vacío y se tensa sobre ella. El sensor capacitivo en la parte inferior (4) mide sobre el inserto de medición y compensa el desplazamiento mecánico de la superficie de apoyo.